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时间：2024-05-15 16:11:25 查看：0
离子注入代工注入元素：Ar、N、P、B、Al、H、He注入能量：30-350Kev均匀性：/注入剂量：5E11-5E16 ions/cm2
序号
指标名称
指标能内容
1
注入能量范围（单价离子）
30-350 keV
2
注入元素
Ar、N、P、B、Al、H、He
3
注入均匀性（片内、片间）
4
5E11～5E16 ions/cm2
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